uPoli-1-300P/uPoli-2-400P精密研磨抛光机
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uPoli-1-300P/uPoli-2-400P精密研磨抛光机图（1）
uPoli-1-300P/uPoli-2-400P精密研磨抛光机图（2）
uPoli-1-300P/uPoli-2-400P精密研磨抛光机图（3）
产品特点与应用
产品特点：
1.本产品用于精密研磨和抛光，去除精度高；
2.样品是真空吸附的，样品板可用于研磨和抛光4英寸（LAP-200U:6英寸）晶圆；
3.样品倾斜角度可调；
4.样品重力加压，加载力连续可调；
5.样品左右摆动，实现半自动研磨抛光；
6.摆臂摆动速度均匀可调；
7.摆臂的摆动范围可在0至15度之间调节；
8.采用独立的1KW大功率大扭矩电机。无论速度快还是慢，扭矩都是大而恒定的。
9.研磨和抛光盘的速度范围很广，从5rpm到100rpm；
10.全触摸屏界面，易于设置研磨和抛光参数；
11.所有研磨和抛光参数，如转速、研磨和抛光时间、旋转方向等，都会自动保存并易于调用；
12.连接并控制四个不同磨料站的滴管；
