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iMea-3030 工具制造测量显微镜

产品描述
● 操作方便
显微镜集中操作、调焦手轮、调速、遥控开关均可实现单手盲操作,实现大样品的高精度、快速测量。
● 电动Z轴调焦
使用电动调焦装置可以显着提高操作性,减少调焦和测高时的操作疲劳。
● 高度灵活
模块化硬件和强大的软件解决方案,自由兼容成像光路、载物台、FA聚焦导航、旋转工作台、晶圆转台等。
● 高密度拼接
利用高密度拼接功能,可将多幅图像拼接扩展为大视场的全景图像。

 
状态:

产品描述

技术规格

图像

正像/倒像

观察方法

明场、暗场、偏光、DIC观察

目镜

屈光度可调10X(视场:22/25mm)

物镜

所有 Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL 系列镜头

对焦系统

被测物体最大高度

200毫米

电动调焦参数

微调:50μm、100μm、400μm/转(可选)

慢跑:100μm/步

粗调:10mm/秒


对焦精度

最小步距

0.1μm

测量重复性

±1μm

照明装置

透射照明

远中心照明,亮度连续可调,10W LED照明

反射照明

科勒照明,可调孔径光阑,  连续亮度调节,10W LED照明

辅助照明

FA 辅助聚焦、LED 环形照明、光纤冷  照明

机械载物台

测量范围

300*300毫米

金属工作台尺寸

500*450毫米

玻璃尺寸

350*350毫米

快拆装置

标准配置

遥控开关

RESET 和 SEND 按钮位于 X 手轮附近

数字计数器

最小读数

可在0.5/0.1μm之间选择

功能

调零、对中、方向转换、公制英制转换、

测量精度


(3+0.02L)μm(L为测量长度)

功耗


230W、85~240VAC 50/60HZ

主机

外形尺寸

659*660*744毫米

重量

160公斤


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