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产品特点：
l内置Z轴直线光栅尺，非接触式Z轴高度测量；
l数字成像和图像处理测量；
l与数据处理系统配合工作；
l底部光源采用准直光源进行轮廓测量，提高测量精度；
l平台表面采用坚固的防刮涂层；
lX、Y、Z最小值可在1um和0.1um之间切换，数据显示可在毫米和英寸之间切换，支持硬件线性补偿。
产品应用：
l可用于检查PCB内部电路层结构、铜箔厚度、过孔质量等；
l可观察分析芯片的微观结构、芯片表面的平整度、电路布线、各层材料的界面情况；
l可用于观察彩色滤光片的颜色均匀性、像素排列精度、膜层的完整性；
l它可以准确地观察钻针顶部的微观特征，例如刀片的形状和磨损情况。
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产品描述
产品名称 | 工具制造显微镜 |
模型 | |
镜筒 | 带标准摄像头接口的双目镜筒；分光比（观察/相机 = 0/100） |
图像 | 正立图像 |
观察方法 | 明场，简单偏振 |
目镜 | 屈光度可调，10X（视场数 22） |
无限远半复消色差物镜 | · PlanFL N 5X DIC，数值孔径0.15，工作距离22mm · PlanFL N 10X DIC，数值孔径0.3，工作距离15mm · PlanFL N 20X DIC，数值孔径0.45，工作距离11mm · PlanFL N 50X，数值孔径0.75，工作距离8.8mm · PlanFL N 100X，数值孔径0.8，工作距离3mm（可选）
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调焦系统 | 手动的 |
光源 | 透射率（LED 照明器、准直光） |
反射（LED照明器、同轴灯） | |
工作阶段 | 测量范围：300200毫米和200150mm或可定制 |
快拆装置 | X、Y轴标准 |
调零开关 | X、Y、Z轴标准 |
长度测量系统 | 0.5μm高精度数字尺，（可选0.1μm） |
数字计数器 | 最小读数0.5μm，RS232C输出 |
外形尺寸（宽*深*高） | 380*705*725毫米 |
测量精度 | X和Y：3+L/200，其中L是测量长度 |
