iInspect-1000工业检测显微镜

NX2000

NX1000

光学系统

无限远光学系统

目镜

10X大视场目镜、高眼点、视度可调

调焦系统

l 粗微动同轴智能变速调焦，调焦范围200mm

l Z轴锁定功能，逃逸与返回功能

l 低手位同轴调焦机构，调焦范围32mm

l 右手有Z轴锁定功能

落射照明

5W LED灯，光亮度可调，亮度记忆

12V,100W卤素灯，光亮度可调

透射照明

5WLED灯，光亮度可调，亮度记忆

LED-40A冷光源

目镜筒

人体工学铰链式正像三目观察镜筒，目镜/端口：100/0、0/100,俯角：0-30度，瞳距调整范围：47-78mm

物镜转换器

电动六孔转换器，带DIC插槽

物镜

无限远平场半复消色差/复消色差明暗场金相物镜

载物台

离合平台14”x12”,行程：356x305mm,可用于300毫米晶圆，附试样托架

聚光镜

透射照明配置聚光镜

观察方法

明场，暗场，DIC,简易偏光